MiniSEM
COXEM EM-30Plus
EM-30Plus 시리즈는 5nm의 높은 분해능을 통해 최상의 이미지를 구현하며 SE와 BSE 2개의 검출기를 기본으로 제공
SE와 BS 검출기를 통해 Composition 및 Topography에 대한 정보를 한번에 획득 가능하며,
도출된 각각의 이미지를 합성하여 하나의 화면으로 구현하는 "Merging" 기능을 세계 최초로 Tabletop SEM 시장에 제안하였습니다.
특징
1. 사용하기 쉬운 인터페이스
2. 완벽한 수준의 오토기능
- 샘플스테이지 Full Auto사용
- 높은 수준의 Auto Focus/Contarst/Brightness/Gun Alignment기능제공
3. 최대 넓이 60mm, 높이 45mm의 시료측정이 가능한 큰 챔버
4. 최대 x150,000배까지 촬영가능
5. 'Navigation Mode'로 더욱 쉬워진 시료 관찰
6. 'Driving Mode'에서 조이스틱을 이용한 정밀한 컨트롤 가능
7. BSE detector와 LV mode(옵션)을 이용한 시료 관찰 가능
Nano Station
코셈의 소프트웨어 나노스테이션은 마우스와 키보드를 사용하여, 간편하게 사용할 수 있으며,
Auto Function 기능을 통하여 사용자가 직접 조작하는 번거로움을 줄일 수 있습니다.
또한, 파노라마샷 기능으로 장시간 동안 사용자가 직접 제어하여 이동하며 찍어야 하는 번거로움을 없애고
자동으로 사용자가 원하는 이미지 부분을 수 십, 수 백장을 자동으로 촬영할 수 있으며,
듀얼 디스플레이 모드를 사용하여 SE, BSE 모드를 한눈에 볼 수있습니다.
Removable BSE Detector
스펙