Mini SEM
COXEM EM-30
고배율에서 선명한 영상을 관찰할 수 있는 SEM
New & Notable 탁상형 주사전자현미경
COXEM EM-30
SEM은 미세 구조물의 형상과 구성 성분의 정량, 정성분석이 가능한 기기로,
반도체/ 디스플레이, 나노소재/ 소자, 나노바이오 등 융·복합 산업은 물론
화학, 생명과학, 재료과학 등 기초과학의 발전을 위해 필수적인 도구이자 기술혁신을 위한 인프라입니다.
개요
• Magnification Up To x 100,000
• Auto Stage : X, Y, T Axis
• Click & Move Stage Control
• Auto Function : Filament Memory , Focus, Contrast, Brightness
• High Definition Image : 5120 x 3840 Pixel
SEM system Type
● 가장 기본적인 SEM 시스템
● SE 검출기 기본 내장 (BSE, EDS 추가 장착 가능)
● 100 K의 배율, 20 nm의 분해능을 제공하는 스탠다드한 Benchtop SEM
● 쿨스테이지 (옵션) 기능을 사용하면, 시료대를 냉각하여 구조 손상없이 이미지 획득 가능
Detector Type
SE (BSE-COMPO / TOPO Function)
자체 개발한 고성능의 SE와 BSE 검출기를 통해 고배율의 이미지, 명암차에 따른 원소별 측정 (COMPO), 해당 시료의 요철 상태 (TOPO)를 관찰하여 다양한 정보를 빠르게 획득 가능
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)
SEM-EDS
SEM-EDS를 통해 시료 표면 관찰과 시료 내 존재하는 원소의 정성·정량분석이 동시에 가능
Mapping 기능
시료를 구성하는 원소에 따라 다른 색상으로 각각 표현하여 해당 분포도 및 함량에 대한 직관적 확인가능
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Bruker (Germany)
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Oxford (England)
Accessory (옵션)
Special multi holder
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Special multi holder
● 동시에 7개의 Stub 장착 가능
● 다양한 규격의 평면, 단면 (45 ˚, 90 ˚) Stub 제공
● Mount 별도 구매 -
Driving mode
스펙
